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電容式位移傳感器在使用過程中的局限性：
在儀器儀表或超精密機械加工領域，往往要求在位移測量具有納米級別的測量精度及分辨率的同時，還需要兼?zhèn)浯罅砍?。電容式位移傳?/span>
器作為一種非光學測量的位移傳感器，因其結構簡單且具有很高的分辨率和帶寬而被廣泛應用在納米測量領域。為了同時兼顧分辨率和量程,
一種采用重復的電容陣列作為傳感單元，通過記錄周期的電容變化來實現(xiàn)位移測量的電容式位移傳感器便發(fā)展起來并得到大量運用。然而，
傳統(tǒng)的電容式位移傳感器具有以下局限：為了提高分辨率，就不得不減小對極寬度；而對極寬度的減小會導致非線性響應的增加，從而降低
測量精度。